| 规格参数 | 尺度 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 片厚 | 150-10/+20 | μm | AOI | / |
| 总厚度变动 | ≤ 27 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 翘曲度 | ≤ 40 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 边长 | 210 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 直径 | 295 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 垂直度 | 90 ± 0.2 | AOI | / |
| 规格参数 | 尺度 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 片厚 | 130-10/+20 | μm | AOI | / |
| 总厚度变动 | ≤ 27 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 翘曲度 | ≤ 40 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 边长 | 210 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 直径 | 295 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 垂直度 | 90 ± 0.2 | AOI | / |
| 规格参数 | 尺度 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 片厚 | 160-10/+20 | μm | AOI | / |
| 总厚度变动 | ≤ 27 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 翘曲度 | ≤ 40 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 边长 | 218.2 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 直径 | 306.6 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 垂直度 | 90 ± 0.2 | AOI | / |
| 规格参数 | 尺度 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 片厚 | 150-10/+20 | μm | AOI | / |
| 总厚度变动 | ≤ 27 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 翘曲度 | ≤ 40 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 边长 | 182 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 直径 | 247 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 垂直度 | 90 ± 0.2 | AOI | / |
| 规格参数 | 尺度 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 片厚 | 130-10/+10 | μm | AOI | / |
| 总厚度变动 | ≤ 27 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 翘曲度 | ≤ 40 | μm | AOI | ASTM F657 |
| 边长 | 182 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 直径 | 247 ± 0.25 | mm | AOI | / |
| 垂直度 | 90 ± 0.2 | AOI | / |
| 规格参数 | 尺度 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 划路/缺口/孔洞 | 无NONE | / | OI/目测 | / |
| 脏污/雾/残留硅渣 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 崩边 | 长度≤ 500 宽度≤ 300 | μm | AOI/目测 | 数量≤ 1 |
| 线痕(RY) | ≤ 15 | μm | AOI/MITUTOYO测试仪 | / |
| 隐裂/裂 | 无NONE | / | OI/目测 | / |
| 线纹方向 | 水平方向 | / | 目测VISUAL | / |
| 规格参数 | 规格参数 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 划路/缺口/孔洞 | 无NONE | / | OI/目测 | / |
| 脏污/雾/残留硅渣 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 崩边 | 长度≤ 500 宽度≤ 300 | μm | AOI/目测 | 数量≤ 1 |
| 线痕(RY) | ≤ 15 | μm | AOI/MITUTOYO测试仪 | / |
| 隐裂/裂 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 线纹方向 | 水平方向 | / | 目测VISUAL | / |
| 规格参数 | 规格参数 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 划路/缺口/孔洞 | 无NONE | / | OI/目测 | / |
| 脏污/雾/残留硅渣 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 崩边 | 长度≤ 500 宽度≤ 300 | μm | AOI/目测 | 数量≤ 1 |
| 线痕(RY) | ≤ 15 | μm | AOI/MITUTOYO测试仪 | / |
| 隐裂/裂 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 线纹方向 | 水平方向 | / | 目测VISUAL | / |
| 规格参数 | 规格参数 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 划路/缺口/孔洞 | 无NONE | / | OI/目测 | / |
| 脏污/雾/残留硅渣 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 崩边 | 长度≤ 500 宽度≤ 300 | μm | AOI/目测 | 数量≤ 1 |
| 线痕(RY) | ≤ 15 | μm | AOI/MITUTOYO测试仪 | / |
| 隐裂/裂 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 线纹方向 | 水平方向 | / | 目测VISUAL | / |
| 规格参数 | 规格参数 | 单元 | 测试工具 | 测试尺度 |
|---|---|---|---|---|
| 划路/缺口/孔洞 | 无NONE | / | OI/目测 | / |
| 脏污/雾/残留硅渣 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 崩边 | 长度≤ 500 宽度≤ 300 | μm | AOI/目测 | 数量≤ 1 |
| 线痕(RY) | ≤ 13 | μm | AOI/MITUTOYO测试仪 | / |
| 隐裂/裂 | 无NONE | / | AOI/目测 | / |
| 线纹方向 | 水平方向 | / | 目测VISUAL | / |
